ICP-MS全称是电感耦合等离子体质谱（Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry），它是一种将ICP技术和质谱结合在一起的分析仪器。 ICP利用在电感线圈上施加的强大功率的射频信号在线圈包围区域形成高温等离子体，并通过气体的推动，保证了等离子体的平衡和持续电离，在ICP-MS中，ICP起到离子源的作用，高温的等离子体使大多数样品中的元素都电离出一个电子而形成了一价正离子。质谱是一个质量筛选器，通过选择不同质荷比（m/z）的离子通过并到达检测器，来检测某个离子的强度，进而分析计算出某种元素的强度。